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光学3D 轮廓测量
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OPTICAL MICROSCOPY 3D MEASUREMENT

台阶 凹槽(微观)
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表面缺陷检测(微观)
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共面度 翘曲度 直线度(微观)
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表面粗糙度(微观)
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台阶 凹槽(宏观)
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角度 弧度R角测量(宏观)
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平面度 平行度 面型(宏观)
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晶圆 TTV BOW WARPAGE(宏观)
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非标定制 深度开发
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NON STANDARD CUSTOMIZEDIN-DEPTH DEVELOPMENT

激光焊接熔深监控
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外置式 超长距离减薄厚度测量
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晶圆耦合高精度定位
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融合2D/3D 缺陷判别测量
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植入式 孔壁3D旋转扫描测量
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旋转台 圆度圆柱度跳动测量
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龙门式 大行程样品测量
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超长距离 大型3D轮廓测量
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综合3D振动测试
综合3D振动测试

COMPREHENSIVE 3D VIBRATION TESTING

MEMS 麦克风
MEMS 麦克风
MEMS 压力传感
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MEMS 悬臂
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MEMS 动态3D振幅
MEMS 动态3D振幅
超声波焊极
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汽车整机振动
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无人机机翼振动
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流量测速
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