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晶圆耦合高精度定位

全新OFDR(光频域反射技术)

满足更高精度光学耦合需求

全新OFDR(光频域反射技术)

满足更高精度光学耦合需求

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晶圆耦合高精度定位

光栅耦合器的距离检测整体搭建方案

晶圆耦合高精度定位

全新OFDR替代OTDR技术链路分析技术,满足更高精度探测

晶圆耦合高精度定位

穿透模式下,观察光学探针在不同位置的耦合功率变化

晶圆耦合高精度定位

反射模式下,观察芯片反射功率随距离的变化

晶圆耦合高精度定位

双探头设计,满足微米级耦合距离 的实时监控

晶圆耦合高精度定位

更高精度要求下,多探头设计,满足更多维度的监控


晶圆耦合高精度定位

光栅耦合器的距离检测整体搭建方案


晶圆耦合高精度定位

全新OFDR替代OTDR技术链路分析技术,满足更高精度探测

晶圆耦合高精度定位

穿透模式下,观察光学探针在不同位置的耦合功率变化

晶圆耦合高精度定位

反射模式下,观察芯片反射功率随距离的变化

晶圆耦合高精度定位

双探头设计,满足微米级耦合距离 的实时监控

晶圆耦合高精度定位

更高精度要求下,多探头设计,满足更多维度的监控