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Measurement Plan
第三代扫频SS-OCT技术
大于1m距离下,实现纳米精度测量
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全新第三代OCT技术,扫频光源SS-OCT技术原理图
基于SS-OCT,实现Z轴重复精度优于1nm的检测能力,满足非接触式,非破坏测量要求
相比稳频激光器拥有更优越的环境抗干扰能力
大于1m的工作距离,可实现超长工作距离的纳米精度测量要求
灵活便携的外置安装设计,匹配适用各种装配场景
多个光学探头搭配,极大提高整体检测效率