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Measurement Plan
激光光学频率梳扫描，搭载高速CCD相机
适用复杂结构面 全自动缺陷及形貌3D测量
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激光光学频率梳原理&高速激光脉冲TOF测试方式
2D 视觉高速拍摄&定位
500kHz激光扫描频率，同步扫描3D轮廓形貌
同轴落射扫描原理，无惧“遮挡”等复杂结构
2D视觉捕获缺陷图片
微米级精度，激光扫描3D缺陷形貌