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Measurement Plan
让白光干涉仪操作更简单，更智能
· 14mm 大视野，多物镜组合，兼顾广视观测与精密测量
· 一键自动调平对焦，长距测量，适配深孔高落差检测
· 干涉解析 + 真彩成像，细节清晰，测量直观全面
· 一键全域粗糙度检测，量程广，适配各类工件
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14mm 超大单幅视野，0.6 倍轻量化镜头 + 4 物镜转塔，一机覆盖大视场观测与高精度测量全需求。
搭载一键自动倾斜调平，硬件追踪 + 算法对焦双闭环，操作极简；搭配 100mm 连续测量，轻松实现深凹坑、深孔等高落差结构的测量。
全域粗糙度一键测量，量程跨度广，可精准检测从超光滑镜面到增材高粗糙工件的全范围表面粗糙度。
保留黑白干涉解析能力，搭载 RGB 真彩色成像；还原样品形貌与色彩细节，测量更全面、分析更直观。
一键自动生成检测报告，兼容 MES 系统，测量数据可无缝上传对接。
全新激光光学频率梳技术
完美兼具实验室和产线自动化3D测量需求
· 纳米精度，200×200mm 大视野全域扫描
· 可测 70mm大台阶工件双面平行度
· 加装光谱模块，同步检测面型与粗糙度
· 自动测量智能判定，适配批量全检
· 独创光路，双面同扫精准测厚与平行度
纳米精度｜200×200mm 视野，扫描成像
传统干涉仪受光学局限，无法对70mm台阶工件双面同步扫描，难以测量平面平行度。
传统截面测量易因样品差异造成取样偏移，数据偏差大；面台阶测量可有效杜绝此类误差。
传统大视野面测受光学限制，XY 精度难以兼顾，加装光谱模块即可完美兼顾粗糙度测量。
纳米精密检测设备搭载自动点位测量与智能OK NG判定功能，大幅提速，适配批量全检作业。
专属独特光路架构，非透明样品支持上下表面同时扫描，可精准检测厚度均匀性与面平行度
优于1nm重复精度下，更高速的晶圆扫描成像，SEMI标准下，满足各种TTV BOW WARP TIP等测量。
· 适配多种材质工件，无需表面处理，检测高效便捷。
· 具备亚微米高精度，大视野测量无需拼接，支持多探头选配。
· 搭载分层扫描技术，可穿透表层精准检测内部结构形态
高反光、漫反射工件免喷粉，无需表面处理直接扫描；散热翅片角度测量专用，1-秒快速扫描、即刻出结果。
透明玻璃检测视野限制，无需拼接，三角扫描-3-秒完成-4mm-视野亚微米级测量，可按需选配探头
柔软透明FPC软板台阶测高，摆脱探针与拼接低效问题，3 秒极速扫描达亚微米精度，标配 4mm 视野，多探头可选.
适配漫反射--吸光光伏片栅线检测，2-秒实现高宽比测试，大视野高效排查细微工艺缺陷。
实测三丰-516-498系列标准阶差规，2μm-标准台阶清晰分辨
搭载独特分层算法，可穿透顶层盖板玻璃，精准扫描并分离出底层-COB-感光芯片的贴合状态，清晰还原芯片翘曲形貌。