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Measurement Plan
大于1m距离,满足微米级精度测量
多探头拼接扫描,一次扫描全景成像
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激光光学频率梳原理&高速激光脉冲TOF测试方式
多探头设计,超长工作距离3D轮廓扫描
同轴落射的扫描方式,无惧复杂结构的遮挡,满足大视野扫描需求
微米级精度下,无需拼接,最大130mm深度扫描
三丰标准块下,满足10um台阶测量