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Measurement Plan
1um重复精度,130mm扫描深度,配合500kHz的扫描频率
灵活大行程扫描,兼容各种复杂的大型样品测量要求
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激光光学频率梳原理&高速激光脉冲TOF测试方式
大型零部件 龙门式 大行程运动控制平台
超大型龙门式 移动扫描
同轴落射的扫描方式,无惧复杂结构的遮挡,满足大视野扫描需求
微米级精度下,无需拼接,最大130mm深度扫描
三丰标准块下,满足10um台阶测量