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光学轮廓测量评估超临界 CO₂设备密封平面度防腐抗萃取（An...

正文超临界 CO₂（Supercritical CO₂，SCO₂）高压工况流体渗透性强，易萃取密封防护层组分，密封端面 \\ 平面度（Flatness）缺陷形成...

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钙钛矿薄膜激光划线热损伤控制与划线公差精密管控工艺研究

摘要钙钛矿光伏量产中，激光划线产生的薄膜热损伤是造成晶体畸变、组分流失、器件效率衰减的关键工艺缺陷。本文从皮秒激光参数优化 + 低温气氛退火实现热损伤抑制，依托...

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白光干涉仪（White Light Interferomet...

一、研究背景超薄薄膜构件（Ultra-thin Film Component）是微纳光学、半导体封装（Semiconductor Packaging）、柔性电子...

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MEMS梳齿结构线宽齿距失准，白光干涉仪校准光刻制程修正尺寸...

MEMS 惯性器件性能高度依赖梳齿电容尺寸精度，光刻量产受曝光能量波动、晶圆平整度、掩模形变、显影速率差异影响，普遍产生梳齿线宽偏移、齿距不均、侧壁倾斜等尺寸失...

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