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05
2026
-
09
直线度 ISO 12780 规范 共聚焦显微镜缺陷与白光干涉...
直线度(Straightness)是精密零部件形位公差关键指标,ISO 12780 规定了直线度的取样、滤波与评定准则,广泛应用于半导体、光学元器件等高精密制造质...
05
2026
-
09
光学轮廓测量在冶金高温热风阀平面度检测中的应用
冶金高温热风阀(Metallurgical high-temperature hot air valve)是高炉热风循环系统关键密封设备,其密封面平面度(seal...
05
2026
-
09
芯片 刻蚀形貌 (Etching Morphology)表...
半导体精密微加工(Precision Micro Machining)干法刻蚀(Dry Etching)制程中,芯片刻蚀形貌(Etching Morphology...
04
2026
-
09
半导体领域激光共聚焦拼接测量失真问题及替代方案
激光共聚焦显微镜(Laser Confocal Microscope, LCM)高倍物镜单帧视场(Field of View, FOV)狭小,半导体大尺寸晶圆、封...
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