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白光干涉仪测量精度易实现，大视场 高精度协同更具学术价值

白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）依托短相干干涉原理，亚纳米级垂直测量精度较容易在小视场条件下达成。小视场检测模式多用于...

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芯片浅沟槽隔离 (Shallow Trench Isolat...

浅沟槽隔离（Shallow Trench Isolation, STI）是CMOS器件核心电学隔离结构，核心原理为依托沟槽内填充氧化层，实现芯片有源区之间的绝缘隔...

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USI白光扫描：多层微纳工件形貌检测数据异常（Data Ab...

本文基于设备原厂手册、公开招标技术资料，针对半导体微纳多层结构（Semiconductor Micro-Nano Multilayer Structure）形貌检...

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芯片 金属布线层 (Metal Wiring Layer)...

先进芯片高速互联电路工作于GHz频段，受趋肤效应（Skin Effect）影响，高频信号电流仅在金属布线表层薄层完成传输。芯片金属布线层（Metal Wiring...

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