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白光干涉测量在强腐蚀介质阀门平面度检测中的应用

摘要强腐蚀介质阀门是化工、冶金等领域的核心控制部件，其密封面长期接触酸碱、盐雾等腐蚀性介质，平面度精度直接决定密封可靠性，平面度超差易引发介质泄漏、设备故障。传...

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机械硬盘盘面跳动、翘曲，平面度测量方法与方案

引言机械硬盘的正常运行离不开盘面的平整性，盘面跳动、翘曲是常见的质量隐患，会导致磁头飞行高度异常、数据读写偏差，严重时引发磁头擦盘、硬盘报废，而平面度不达标是造...

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CMOS芯片共面度不良，白光干涉解决对焦偏移、景深不足问题

引言CMOS芯片作为半导体器件的核心组成部分，共面度精度直接决定封装可靠性与信号传输稳定性，共面度不良会导致芯片与基板贴合不严、引脚接触不良，进而引发电路故障。...

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镜筒定位面平面度不良引发镜片畸变的白光干涉测量

摘要镜筒定位面平面度不良是诱发光学镜片畸变的主要诱因，镜片畸变会严重破坏光学系统成像精度。白光干涉测量技术具备非接触、纳米级精度优势，可精准表征定位面平面度缺陷...

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