mems帽进行原理测量
显示带帽mems的动态特性
捕获的操作缺陷形状
2轴加速度计(fhgenas)的平面运动分析
不同表面反射的相对强度贡献(左)和不同光学结构的离焦光强度与反射源距离的关系(右)
用于芯片级测量的探针台集成
产品简介
核心参数
MEMS器件的动态特性测试和机械响应可视化对于产品开发、故障排除和有限元模型验证来说非常重要。Polytec公司的MSA显微式激光测振仪能快速、准确地测试显微结构的面外振动(OOP)和面内振动(IP)。全新的MSA-650 IRIS显微式激光测振仪甚至可以透过完整的微型硅密封器件进行测试，如惯性传感器，MEMS麦克风，压力传感器等。
典型应用
· 惯性传感器，如加速度计和陀螺仪
· 微机电传感器和致动器 (MEMS)
· 打印机喷墨头 · 压力传感器薄膜
· 耳机、微型镜头等
亮点
· 通过硅封装器件的不同层测试MEMS动态特性
· 实时面外振动测试，最大带宽高达25 MHz
· 亚皮米级面外振动位移分辨率
· 易于集成至生产线上的自动测试系统(兼容商用探针台)
· 频闪法测试面内振动，带宽高达2.5 MHz
· 更好地分离器件的各个层
· MEMS器件的最终有限元模型验证
关键词：
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