优于1nm分辨率,轻松测量硅片表面粗糙度测量,Ra=0.7nm

毫米级视野,实现5nm-有机油膜厚度扫描

纳米级精度,实现微米级的深度宽度测量

自动聚焦,自动调平,一键生成统计报告

全新搭载ECT抗干扰系统,兼容生产线自动化测量

全新人机交互软件设计,充分提高使用便捷性

产品简介
核心参数
Polytec 全新光学轮廓仪 TopMap.Micro View系列产品
全新ECT环境补偿技术,配合4轴平台自动倾斜矫正,
完美解决传统白光干涉聚焦问题
噪杂的复杂环境也同样适用!
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