传统截面测量易因样品差异造成取样偏移，数据偏差大；面台阶测量可有效杜绝此类误差。

传统大视野面测受光学限制，XY 精度难以兼顾，加装光谱模块即可完美兼顾粗糙度测量。

纳米精密检测设备搭载自动点位测量与智能OK NG判定功能，大幅提速，适配批量全检作业。

专属独特光路架构，非透明样品支持上下表面同时扫描，可精准检测厚度均匀性与面平行度