MEMS 悬臂梁振动模态、谐振频率与形变，排查应力缺陷，对标仿真优化结构，提升传感灵敏度，适配研发调校与量产质检。

压力传感器感压膜片的振动模态、固有频率与形变分布，排查应力不均、工艺缺陷；实测数据对标仿真优化结构。

CMUT 振膜高频振动模态、频响检测，排查缺陷；对标仿真优化结构，提升换能效率与带宽；校准阵列单元一致性。

检测梳齿式 MEMS 面内振动与频响，获取共振参数与振型，验证驱动效率；实测对标仿真，优化结构提升线性度。