融合2D/D缺陷判别测量 - 新启航半导体有限公司

融合2D/D缺陷判别测量

激光光学频率梳扫描，搭载高速CCD相机

适用复杂结构面全自动缺陷及形貌3D测量

融合2D/D缺陷判别测量

激光光学频率梳原理&高速激光脉冲TOF测试方式

融合2D/D缺陷判别测量

2D 视觉高速拍摄&定位

融合2D/D缺陷判别测量

500kHz激光扫描频率，同步扫描3D轮廓形貌

融合2D/D缺陷判别测量

同轴落射扫描原理，无惧“遮挡”等复杂结构

融合2D/D缺陷判别测量

2D视觉捕获缺陷图片

融合2D/D缺陷判别测量

微米级精度，激光扫描3D缺陷形貌

晶圆耦合高精度定位

激光光学频率梳原理&高速激光脉冲TOF测试方式

晶圆耦合高精度定位

2D 视觉高速拍摄&定位

晶圆耦合高精度定位

500kHz激光扫描频率，同步扫描3D轮廓形貌

晶圆耦合高精度定位

同轴落射扫描原理，无惧“遮挡”等复杂结构

晶圆耦合高精度定位

2D视觉捕获缺陷图片

晶圆耦合高精度定位

微米级精度，激光扫描3D缺陷形貌

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融合2D/D缺陷判别测量

非标参数请与工程师联系:18565137375

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