摘要

镜筒定位面平面度与镜片间隔精度是决定光学系统成像质量的核心参数，二者偏差易导致光轴偏移、成像模糊等问题。白光干涉测量技术具备非接触、纳米级精度优势，可实现两项参数的精准同步检测。本文采用白光干涉测量技术，开展镜筒定位面平面度与镜片间隔精度检测实验，探究该技术的应用效果与检测优势，为光学镜筒装配质量管控提供技术支撑。

关键词

白光干涉测量；镜筒定位面；平面度；镜片间隔精度；检测应用

引言

光学镜筒装配中，定位面平面度决定镜片装配基准精度，镜片间隔精度直接影响光线折射与成像一致性，二者协同作用决定光学系统性能。传统检测方法需分别采用不同设备检测两项参数，效率低且易产生检测偏差。白光干涉测量可通过一次扫描完成平面度与间隔精度的同步检测，精准捕捉微观偏差，为两项参数的高效检测提供可靠技术路径。

实验方案

实验选用铝合金镜筒与石英镜片，镜筒定位面尺寸18mm×18mm，设计不同平面度偏差与镜片间隔偏差的样本。搭建白光干涉测量平台，调试光路确保检测稳定性，对镜筒定位面进行全域扫描，采集平面度数据；同时，通过干涉信号分析镜片与定位面的间距，精准测量镜片间隔精度，对比验证检测数据的准确性。

实验结果与分析

实验表明，白光干涉测量可实现定位面平面度与镜片间隔精度的同步精准检测，平面度测量精度达±2nm，镜片间隔精度检测误差小于3%。当定位面平面度偏差≤0.003mm时，镜片间隔精度偏差可控制在±0.002mm以内，满足光学装配要求；平面度偏差增大时，镜片间隔精度显著下降，二者呈正相关关系。分析可知，白光干涉测量可高效完成两项参数同步检测，减少检测流程，为装配工艺优化提供精准数据支撑。

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