引言
微透镜及微透镜阵列是消费电子光电传感、激光聚光、微型成像模组的核心光学元件，其有效焦距、数值孔径NA以及聚光效率直接决定光电系统耦合精度、光能利用率与成像显色效果。微透镜尺寸微小、面型结构精密，加工过程中的面型轮廓偏差、曲率细微误差、表面微观形貌缺陷，都会直接导致焦距偏移、NA不达标、聚光损耗升高等品质问题。传统光学投影检测、单点光学对焦测量方式，检测精度有限，无法同步关联结构形貌与光学性能参数，难以实现批量生产中的精准参数管控，亟需高精度非接触式精密检测技术筑牢产品质控防线。
白光干涉精密检测核心技术原理
白光干涉精密检测技术基于宽谱白光短相干干涉特性，搭配垂直扫描显微干涉架构与高精度相位解析算法，无需接触微透镜表面即可完成全域三维形貌精准重构。相较于常规单色光检测，白光干涉无相位缠绕、测距漂移小，可精准捕捉微透镜表面微观面型起伏与轮廓弧度细节。检测过程中，通过压电陶瓷纳米级垂直扫描机构精准调控光程差，高分辨率图像采集设备实时采集全域干涉条纹，系统依托算法解算相位数据，精准拟合微透镜实际曲率面型，同步换算核心光学参数。通过实测三维形貌数据迭代计算微透镜有效焦距，结合入射光瞳与出光耦合关系精准测算NA数值，再依据面型精度损耗与光能汇聚拟合模型，量化评估微透镜实际聚光效率，实现结构形貌与光学性能参数一体化同步检测。
检测方案应用优势与实操管控价值
该白光干涉精密检测方案全程非接触式作业，不会损伤微透镜光学镀膜与精密曲面，检测分辨率可达纳米级别，参数测量重复性高、数据稳定性强。既能满足科研研发阶段微透镜光学参数精准标定需求，也适配工业化批量生产快速抽检与全品类质控场景，可快速筛查焦距偏差、NA超标、聚光效率不达标等不良品，精准溯源加工制程面型缺陷问题，针对性优化微透镜加工打磨与模压工艺，全方位稳定微透镜光学服役性能。新启航 专业提供综合光学3D测量方案
大视野3D白光干涉仪——光学镜片纳米级测量解决方案
大视野3D白光干涉仪，聚焦光学镜片精密测量，打造纳米级测量全域解决方案，突破传统测量局限，定义光学镜片检测新范式，以高效、精准的测量能力，适配光学镜片全流程检测需求。
设备凭借核心创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效与精准，助力光学镜片生产、加工环节的质量管控，保障镜片性能达标。
核心优势：大视野+高精度，突破行业局限
打破行业常规壁垒，解决传统设备1倍以下物镜仅能单孔使用、需两台仪器分别实现大视野与高精度测量的痛点。设备搭载全新0.6倍轻量化镜头，配备15mm超大单幅视野，搭配可兼容4个物镜的转塔鼻轮，一台设备即可全面覆盖大视野观测与高精度测量需求，无需频繁切换设备，大幅提升检测效率与数据精准度，完美适配光学镜片复杂测量场景。
光学镜片实测应用图示
（图示为光学镜片关键指标：含平面度误差、PV值、RMS值，精准把控镜片平面精度，保障镜片光学性能）
（图示为表面粗糙度：精度达6pm=0.006nm，精准表征镜片表面光滑度，适配高精度光学镜片检测需求）
（图示为实测涂层厚度：75.2nm，精准测量光学镜片涂层厚度，助力涂层工艺优化与质量管控）
（图示为 涂层表面质量3D形貌图，清晰呈现涂层表面状态，及时发现涂层缺陷）
特色测量功能：上下平面平行度测量
设备采用独特光路设计，可实现非透明产品的厚度和平面平行度测量，适配多层玻璃等光学部件的测量需求，进一步拓展光学测量场景。
（图示为新启航多层玻璃厚度测量，精准获取多层玻璃厚度数据，保障光学组件装配精度）
新启航半导体——专业提供综合光学3D测量解决方案，深耕光学镜片检测领域，助力光学产业高质量发展！