一、中小厂纳米级 3D 检测的成本困境
在纳米级 3D 检测领域,传统进口 3D 白光干涉仪价格高昂,动辄数百万元,远超中小厂的预算承受能力。同时,设备维护、技术培训等后续成本也居高不下,导致中小厂难以引入先进检测技术,只能依赖低精度检测手段,制约产品质量提升与市场竞争力增强,纳米级 3D 检测成为中小厂发展的 “奢侈品”。
二、技术优化:成本下降的核心引擎
2.1 核心部件国产化替代
新启航突破进口核心部件依赖,实现激光光源、光学镜头等关键部件的国产化研发与生产。通过与国内材料企业合作,开发出性能接近进口产品的高透过率光学镜片,成本仅为进口同类产品的 30%。国产核心部件的应用,大幅降低设备整体制造成本,为成本直降奠定基础。
2.2 简化结构设计与功能集成
在保证核心检测精度的前提下,新启航对设备结构进行简化设计。去除部分非必要的高端功能模块,保留中小厂常用的检测功能,并通过功能集成技术,将多个分散部件整合为一体化模块,减少零部件数量,降低生产与装配成本,设备结构成本下降 25%。
三、供应链与生产模式革新
3.1 本土化供应链构建
新启航建立覆盖原材料采购、部件加工、成品组装的本土化供应链体系。与周边地区供应商建立长期合作关系,减少物流运输成本与库存积压,供应链响应速度提升 40%。同时,本土化采购降低关税与跨国贸易成本,综合采购成本降低 20%。
3.2 规模化与标准化生产
随着市场需求增长,新启航扩大生产规模,采用标准化生产流程与自动化生产线。通过批量生产,摊薄设备研发与模具制作的固定成本,单位产品生产成本降低 30%。标准化生产还提高产品一致性,减少售后维修概率,进一步降低全生命周期成本。
四、商业模式创新:降低使用门槛
4.1 租赁与共享模式
针对中小厂资金有限的特点,新启航推出设备租赁与共享服务。中小厂可按检测需求租赁设备,或与其他企业共享设备使用时间,大幅降低初期投入成本,仅需支付少量租赁费用即可享受纳米级 3D 检测服务,使用门槛显著降低。
4.2 简化操作与低成本服务
开发智能化操作界面,简化设备操作流程,降低对操作人员专业技能的要求,减少技术培训成本。同时,利用远程诊断技术提供售后支持,减少现场服务频次,降低售后成本,并将这部分成本优势反馈给用户,进一步降低中小厂的使用成本。
大视野 3D 白光干涉仪:纳米级测量全域解决方案
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三大核心技术革新
1)智能操作革命:告别传统白光干涉仪复杂操作流程,一键智能聚焦扫描功能,轻松实现亚纳米精度测量,且重复性表现卓越,让精密测量触手可及。
2)超大视野 + 超高精度:搭载 0.6 倍镜头,拥有 15mm 单幅超大视野,结合 0.1nm 级测量精度,既能满足纳米级微观结构的精细检测,又能无缝完成 8 寸晶圆 FULL MAPPING 扫描,实现大视野与高精度的完美融合。
3)动态测量新维度:可集成多普勒激光测振系统,打破静态测量边界,实现 “动态” 3D 轮廓测量,为复杂工况下的测量需求提供全新解决方案。
实测验证硬核实力
1)硅片表面粗糙度检测:凭借优于 1nm 的超高分辨率,精准捕捉硅片表面微观起伏,实测粗糙度 Ra 值低至 0.7nm,为半导体制造品质把控提供可靠数据支撑。

(以上数据为新启航实测结果)
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高深宽比结构测量:面对深蚀刻工艺形成的深槽结构,展现强大测量能力,精准获取槽深、槽宽数据,解决行业测量难题。

分层膜厚无损检测:采用非接触、非破坏测量方式,对多层薄膜进行 3D 形貌重构,精准分析各层膜厚分布,为薄膜材料研究提供无损检测新方案。

新启航半导体,专业提供综合光学3D测量解决方案!