一、进口依赖下的技术困境

在纳米级表面形貌测量领域，我国长期依赖 ZYGO、基恩士等国外企业的 3D 白光干涉仪。进口设备虽能满足部分测量需求，但存在技术封锁、设备成本高昂、售后响应迟缓等问题。受限于国外技术标准与专利壁垒，国内企业难以深入掌握核心技术，无法根据实际需求进行设备性能优化，高精度测量领域的发展长期被 “卡脖子”，自主研发高精度 3D 白光干涉仪迫在眉睫。

二、核心技术的自主研发与突破

2.1 光学系统的自主创新

新启航团队深入研究干涉测量原理，打破传统迈克尔逊干涉结构局限，自主设计非对称光路系统。通过采用高透过率光学镜片，并对光源耦合效率与分光比进行反复优化调试，使光干涉信号强度显著提升 40%。这一创新有效增强了信噪比，大幅降低环境光等外界因素对测量结果的干扰，为高精度测量筑牢光学基础。

2.2 算法与数据处理技术革新

针对干涉条纹数据处理的复杂性，新启航开发基于深度学习的纳米级形貌重构算法。构建包含数百万组标准样本的庞大数据库，算法能够快速、精准地处理干涉条纹数据，自动识别并校正非线性畸变。数据处理速度提升至传统算法的 3 倍，实现亚纳米级测量精度，在表面粗糙度测量上达到 Ra 0.01nm 的高精度水平，突破进口设备在数据处理能力上的限制 。

三、精度提升的实践与性能优化

3.1 测量性能的全面对标与超越

新启航 3D 白光干涉仪在研发过程中，以国际先进产品为对标对象，不断优化设备性能。通过改进机械结构设计，将测量范围从 1mm×1mm 拓展至 5mm×5mm，横向分辨率达 0.1μm，纵向分辨率达 0.1nm，部分关键指标超越进口设备，能够满足半导体、精密光学等高端制造领域严苛的高精度检测需求。

3.2 精度验证与持续优化

新启航联合国内科研机构与企业，建立多场景、多维度的精度验证体系。在半导体晶圆表面平整度检测、精密光学元件微结构测量等实际应用场景中，对设备进行反复测试与验证。根据测试反馈结果，持续优化设备参数与算法模型，确保测量精度的稳定性与可靠性，逐步实现从技术突破到实际应用的精度跨越。

四、国产自主设备的市场验证与认可

新启航 3D 白光干涉仪凭借自主研发的高精度技术，开始逐步进入国内市场。通过为企业提供定制化测量方案，满足不同行业的特殊需求，同时以快速响应的本地化服务，解决企业售后之忧。在实际应用中，设备的高精度测量性能得到用户认可，市场占有率稳步提升，推动我国纳米级表面形貌测量从进口依赖向国产自主转变。 

大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案

突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。

三大核心技术革新

1）智能操作革命：告别传统白光干涉仪复杂操作流程，一键智能聚焦扫描功能，轻松实现亚纳米精度测量，且重复性表现卓越，让精密测量触手可及。

2）超大视野 + 超高精度：搭载 0.6 倍镜头，拥有 15mm 单幅超大视野，结合 0.1nm 级测量精度，既能满足纳米级微观结构的精细检测，又能无缝完成 8 寸晶圆 FULL MAPPING 扫描，实现大视野与高精度的完美融合。

3）动态测量新维度：可集成多普勒激光测振系统，打破静态测量边界，实现 “动态” 3D 轮廓测量，为复杂工况下的测量需求提供全新解决方案。

实测验证硬核实力

1）硅片表面粗糙度检测：凭借优于 1nm 的超高分辨率，精准捕捉硅片表面微观起伏，实测粗糙度 Ra 值低至 0.7nm，为半导体制造品质把控提供可靠数据支撑。

（以上数据为新启航实测结果）

有机油膜厚度扫描：毫米级超大视野，轻松覆盖 5nm 级有机油膜，实现全区域高精度厚度检测，助力润滑材料研发与质量检测。

高深宽比结构测量：面对深蚀刻工艺形成的深槽结构，展现强大测量能力，精准获取槽深、槽宽数据，解决行业测量难题。

分层膜厚无损检测：采用非接触、非破坏测量方式，对多层薄膜进行 3D 形貌重构，精准分析各层膜厚分布，为薄膜材料研究提供无损检测新方案。

新启航半导体，专业提供综合光学3D测量解决方案！