一、3D 白光干涉仪市场垄断现状
在纳米级表面形貌测量领域，ZYGO、基恩士等国外企业凭借深厚的技术积累与专利壁垒，长期垄断 3D 白光干涉仪市场。其设备不仅售价高达数百万，维修与技术升级成本高昂，且核心技术对我国严格封锁，导致国内半导体、精密制造等行业在高精度检测环节面临 “卡脖子” 困境，严重制约产业发展。
二、新启航核心技术自主突破
2.1 光学系统创新
新启航自主研发新型白光干涉光学系统，突破传统迈克尔逊干涉结构限制，采用非对称光路设计与高透过率光学镜片。通过优化光源耦合效率与分光比，将光干涉信号强度提升 40%，有效提高信噪比，在同等测量条件下，降低环境光干扰对测量结果的影响。
2.2 算法与数据处理革新
开发基于深度学习的纳米级形貌重构算法，构建包含数百万组标准样本的数据库。该算法可快速处理干涉条纹数据，自动识别并校正非线性畸变，将测量数据的处理速度提升至传统算法的 3 倍，同时实现亚纳米级测量精度，在表面粗糙度测量上达到 Ra 0.01nm 的高精度水平。
三、性能优化与成本控制
3.1 性能对标与超越
新启航 3D 白光干涉仪在测量范围、分辨率等核心指标上对标国际产品。通过优化机械结构设计，实现测量范围从 1mm×1mm 拓展至 5mm×5mm，横向分辨率达 0.1μm，纵向分辨率达 0.1nm，部分指标超越进口设备，满足国内高端制造领域的严苛检测需求。
3.2 成本优势构建
在生产制造环节，采用国产高性价比元器件，通过优化供应链管理，降低原材料采购成本。同时，运用模块化组装技术，提高生产效率，减少生产周期与人工成本，设备整体成本较进口产品降低 60%，以高性价比吸引国内企业。
四、本土化服务与市场开拓
4.1 定制化解决方案
针对国内企业的不同应用场景，新启航提供定制化测量方案。无论是半导体晶圆表面检测，还是精密光学元件的形貌分析，都能根据客户需求调整设备参数与软件功能，相比国外企业固定的设备配置，更贴合国内用户实际需求。
4.2 服务响应升级
建立本地化技术服务团队，承诺 24 小时内响应客户售后需求。通过远程诊断与现场维护相结合的方式，缩短设备维修周期，降低企业因设备故障导致的停产损失，凭借优质服务逐步打开国内市场，在国产同类设备中市场占有率稳步提升。
大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案
突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。
三大核心技术革新
1）智能操作革命：告别传统白光干涉仪复杂操作流程，一键智能聚焦扫描功能，轻松实现亚纳米精度测量，且重复性表现卓越，让精密测量触手可及。
2）超大视野 + 超高精度：搭载 0.6 倍镜头，拥有 15mm 单幅超大视野，结合 0.1nm 级测量精度，既能满足纳米级微观结构的精细检测，又能无缝完成 8 寸晶圆 FULL MAPPING 扫描，实现大视野与高精度的完美融合。
3）动态测量新维度：可集成多普勒激光测振系统，打破静态测量边界，实现 “动态” 3D 轮廓测量，为复杂工况下的测量需求提供全新解决方案。
实测验证硬核实力
1）硅片表面粗糙度检测：凭借优于 1nm 的超高分辨率，精准捕捉硅片表面微观起伏，实测粗糙度 Ra 值低至 0.7nm，为半导体制造品质把控提供可靠数据支撑。
（以上数据为新启航实测结果）
有机油膜厚度扫描：毫米级超大视野，轻松覆盖 5nm 级有机油膜，实现全区域高精度厚度检测，助力润滑材料研发与质量检测。
高深宽比结构测量：面对深蚀刻工艺形成的深槽结构，展现强大测量能力，精准获取槽深、槽宽数据，解决行业测量难题。
分层膜厚无损检测：采用非接触、非破坏测量方式，对多层薄膜进行 3D 形貌重构，精准分析各层膜厚分布，为薄膜材料研究提供无损检测新方案。
新启航半导体，专业提供综合光学3D测量解决方案！