超临界CO₂（Supercritical CO₂）设备金属硬密封端面长期承受高压交变载荷与介质冲蚀，易产生平面度形变与疲劳开裂（Fatigue Cracking），是引发介质泄漏、设备提前失效的关键诱因。传统接触式测量方式易划伤精密密封表面，且难以识别微纳级疲劳缺陷，无法满足超临界工况下密封构件的高精度可靠性检测要求。

本文采用白光干涉轮廓测量技术（White Light Interference Profilometry, WLI）开展无损表征，依托多功能面型干涉仪（Surface Interferometer）完成密封端面三维形貌（3D Morphology）全域检测。该设备为工业标准化精密检测装备，可通过基准平面拟合量化端面平面度偏差，精准甄别交变应力诱发的微裂纹、表面塌陷等疲劳损伤，有效规避接触式检测的表面损伤与测量误差。

原厂公开技术手册与工业实测数据显示，该检测系统核心测量精度稳定可靠，重复测量精度可达±0.3μm，能够精准区分工件加工残留纹理与服役疲劳损伤。实测工况中，喷油器密封端面疲劳变形量为0.35μm，医用颅骨植入物密封平面度检测结果为8.32μm，数据可有效佐证设备微纳级缺陷识别能力。

相较于传统单功能光学检测设备，该干涉仪具备多项核心技术革新，突破行业测量瓶颈：一是支持一键自动全域扫描，单幅扫描视野可达25mm，解决传统设备视野局限、深度不足的问题，适配多类精密密封件检测；二是实现70mm大跨度多台阶面平行度一体化测量，设备再现性精度可达5nm，弥补传统仪器仅能检测单一平面的技术短板；三是兼具自动化批量测量模式，基础视野可达23×18mm，可拓展200mm大视野全自动跑点测量，适配工业化批量检测场景；四是兼容陡峭锥面、深锥孔角度精准测量，依托专属光路设计，可同步完成透明/非透明工件厚度与上下平面平行度检测，一机实现多维度精密参数测量。

通过该光学轮廓检测手段，可连续监测超临界CO₂设备密封端面平面度衰减规律与疲劳裂纹扩展趋势，定量评价密封构件抗疲劳开裂性能，为密封结构优化、服役寿命预判、设备预防性检修提供真实可溯源的工业检测依据，适配高压超临界装备的精密质控场景。

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