超临界二氧化碳（Supercritical CO₂, scCO₂）设备长期处于高温、高压强渗透工况，密封端面平面度（Sealing Flatness）是管控介质渗漏、保障系统稳定运行的核心参数。scCO₂流体具备低黏度、高渗透性特性，密封端面微米级形貌偏差即可诱发微渗漏缺陷。传统塞尺、百分表等接触式检测方式易损伤精密密封面，且无法捕捉微观形变，检测精度难以适配scCO₂设备防渗漏质量管控需求。

光学轮廓测量技术（Optical Profilometry）依托白光干涉原理（White Light Interferometry, WLI），为非接触式微纳三维检测技术（3D Micro-nano Detection Technology），可全域采集密封端面三维形貌（3D Morphology）数据，精准量化平面度误差、表面峰谷差值等核心指标，规避接触检测造成的表面二次损伤，有效识别密封面微小翘曲、形变及加工瑕疵。

scCO₂设备密封面平面度偏差直接决定密封间隙均匀性。平面度误差＞25μm时，端面贴合密实度大幅降低，易形成连续渗漏通道，设备渗漏率显著升高；平面度控制在15μm以内时，端面贴合均匀致密，可有效阻断微渗漏路径。该光学检测方式可实现密封平面高精度质量控制，为scCO₂设备防渗漏性能优化、密封装配精度校准提供可靠数据支撑。

多功能面型干涉仪（Multi-functional Surface Interferometer）应用适配

该精密检测设备可一站式完成微纳级平面度、深孔台阶、陡峭锥面角度及三维轮廓检测，全面适配scCO₂设备硬密封零部件精密测量场景，解决传统检测设备功能单一、精度不足的行业短板。

四大核心技术革新（源自原厂白皮书及公开招标资料）

全域一键自动扫描：突破传统光学测量深度受限、视野狭小的痛点，兼容平面度、台阶高度、多面平行度、锥孔等多维度精密检测，适配密封件、喷油嘴等核心零部件检测。实测典型工件数据：喷油器密封端面平面度变形0.35μm，颅骨植入物平面度8.32μm，单幅标准扫描视野可达25mm。

大尺寸多台阶平行度检测：区别于传统干涉仪仅支持单一平面测量的局限，设备可实现最大70mm多台阶结构一体化形貌分析，测量重复精度可达5nm，大幅提升复杂密封构件的检测完整性。

自动化批量测量模式：标准单幅测量视野23×18mm，支持最大200mm超大视野全自动跑点检测，批量检测效率显著提升；可根据工业生产需求提供非标定制检测方案，适配规模化、高精度质控场景。

异形结构与双平面精准检测：兼具深锥孔、陡峭锥面角度高精度测量能力，拓展密封异形构件检测场景；搭载专属光路设计，可同步完成透明/非透明工件厚度、上下平面平行度检测，简化检测流程，提升精密质控效率。

新启航半导体｜专业白光干涉 3D 轮廓测量方案。亚纳米精度保障，支持自动化定制；高端系列对标国际一线品牌，大视野设计，轻松应对高低反射、复杂材料测量场景。

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一、内容溯源与适用范围（Source & Scope of Application）

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