光学镜片（Optical Lens）量产加工过程中，受超精研磨、抛光工艺误差、工装夹持应力、环境粉尘及清洗工艺影响，极易产生各类微观形貌缺陷。常见缺陷包含微观划痕（Micro-scratch）、麻点（Pitting）、表面微凸起、亚表面裂纹（Subsurface Crack）及面形微畸变等，这类微米、纳米级缺陷具备隐蔽性强、批量高发的特点。
传统目视检测、普通轮廓仪检测方式分辨率有限，仅能识别宏观破损，无法量化微观形貌误差。镜片微小形貌缺陷会引发光束散射（Beam Scattering）、波前畸变（Wavefront Distortion），改变光路传播轨迹，导致镜头成像清晰度下降、杂散光增加，严重影响车载镜头、安防光学镜头等精密量产产品的成像一致性与使用可靠性。
白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）基于短相干干涉原理，可实现非接触式、无损的三维微观形貌检测，能够全维度采集镜片表面粗糙度（Surface Roughness）、面形精度、微观缺陷尺寸与分布数据，精准捕捉量产过程中的隐性工艺缺陷。
通过该设备的全域检测数据，可反向优化抛光转速、研磨粒度、清洗流程等量产工艺参数，建立标准化缺陷筛查机制，有效抑制微观形貌缺陷批量滋生，稳定镜头量产良品率，是光学镜头规模化精密质控的核心检测设备。
光学镜片实测应用图示及说明（工业及半导体专属）
（图示为光学镜片关键指标：含平面度误差（Flatness Error）、峰值谷值（Peak-Valley, PV）、均方根值（Root Mean Square, RMS），精准把控镜片平面精度，保障镜片光学性能稳定，适配半导体光学镜片检测需求）
（图示为表面粗糙度（Surface Roughness, Ra）：精度达6pm=0.006nm，精准表征镜片表面光滑度，适配高精度光学镜片、半导体光学窗口片检测需求，规避表面粗糙导致的光学损耗）
（图示为实测涂层厚度（Coating Thickness）：75.2nm，精准测量光学镜片涂层厚度，助力涂层工艺优化（Coating Process Optimization）与质量管控，保障镜片抗反射、抗磨损等性能）
（图示为涂层表面质量3D形貌图（3D Morphology Map of Coating Surface Quality），清晰呈现涂层表面状态，及时发现涂层划痕、脱落、气泡等缺陷（Defect），为工艺改进提供数据支撑）
大视野3D白光干涉仪
大视野3D白光干涉仪，聚焦光学镜片（Optical Lens）精密测量，打造纳米级（Nanoscale）测量全域解决方案，突破传统测量局限，定义光学镜片检测新范式，以高效、精准的测量能力，适配光学镜片全流程检测需求，为工业光学、半导体光学器件（Semiconductor Optical Devices）等领域提供全方位技术支撑。
设备凭借核心创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量（Precision Measurement）的高效与精准，助力光学镜片生产、加工环节的质量管控（Quality Control），保障镜片光学性能（Optical Performance）达标，适配半导体光学组件、精密光学仪器等高端场景需求。
核心优势：大视野+高精度，突破行业局限
打破行业常规壁垒，解决传统设备1倍以下物镜（Objective Lens）仅能单孔使用、需两台仪器分别实现大视野与高精度测量（High-Precision Measurement）的痛点。设备搭载全新0.6倍轻量化镜头，配备15mm超大单幅视野（Single Frame Field of View），搭配可兼容4个物镜的转塔鼻轮（Turret Nose Wheel），一台设备即可全面覆盖大视野观测与高精度测量需求，无需频繁切换设备，大幅提升检测效率（Inspection Efficiency）与数据精准度（Data Accuracy），完美适配光学镜片复杂测量场景。
新启航半导体｜专业白光干涉 3D 轮廓测量方案。亚纳米精度保障，支持自动化定制；高端系列对标国际一线品牌，大视野设计，轻松应对高低反射、复杂材料测量场景。
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