高压加氢反应器（High-pressure Hydrogenation Reactor）是石化加氢工艺核心承压设备，其密封件（Sealing Component）端面平面度（Flatness）直接决定设备密封性能与运行稳定性。设备长期处于高温高压工况，密封件易产生热变形（Thermal Deformation），诱发介质泄漏、系统压力衰减等安全隐患。传统平晶检测、接触式打表检测存在精度不足、易划伤工件表面、无法实现微纳级检测等缺陷，难以适配高精度密封件检测需求。

本文采用白光干涉光学轮廓测量技术（White Light Interference Profilometry, WLI），开展加氢硬质合金密封件工况热变形与平面度检测试验。该技术属于非接触式三维形貌检测技术（Non-contact 3D Morphology Detection Technology），可全域重构密封面三维轮廓形貌（3D Profile Morphology），有效规避接触测量的人为误差与工件损伤问题。试验严格遵循石化设备检测规范，完成工件表面预处理与设备校准后，分别采集常温及模拟高温工况下密封件的形貌特征数据。

该光学测量系统检测误差可控制在4nm以内，可精准量化热应力引发的密封面微变形量与平面度偏差。高温工况下密封件端面存在不均匀热膨胀现象，局部平面度超差是导致加氢设备密封失效的核心原因。相较于传统检测方式，该技术可精准捕捉微纳级热变形特征，检测数据客观稳定，可靠性显著提升。

为适配加氢密封件等精密硬密封零部件的全维度检测需求，本文配套采用多功能面型干涉仪（Multi-functional Surface Interferometer），可一站式完成微纳级平面度、台阶高度、多面平行度、深锥孔角度及三维轮廓检测，全面覆盖精密密封构件检测场景。

该设备具备四大核心技术优势：一是一键自动扫描（One-click Automatic Scanning），解决传统光学测量深度受限、视野狭小的行业痛点，单幅扫描视野可达25mm，可适配喷油嘴、加氢密封件等精密构件检测，实测喷油器密封端面平面度变形量0.35μm；二是多台阶面平行度检测能力，突破传统设备仅可检测单一平面的局限，支持70mm台阶尺寸测量，重复测量精度可达5nm；三是自动化批量测量模式，常规单幅视野23×18mm，支持最大200mm大范围全自动跑点测量，可定制非标检测方案，大幅提升批量检测效率；四是复合型精密检测功能，兼具深锥孔角度精准测量与上下平面平行度同步检测能力，依托专属光路设计，可同步完成透明/非透明工件厚度与双面平行度检测，精简检测流程。

本研究通过高精度光学检测技术，实现了加氢密封件热变形与平面度的精准量化分析，可为密封件工况性能评估、生产质量管控及结构优化提供可靠数据支撑，适配高压加氢设备严苛运维场景，具备良好的工业落地价值。

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