摘要:DAGE XD7600为半导体封装(Semiconductor Packaging)专用离线式X-ray Inspection System(X光检测系统),广泛应用于BGA、CSP、Die Attach等工序缺陷检测。本文基于原厂产品手册及公开工业设备招标数据,详解该机型核心性能指标,补充二手设备专业保养规范,为半导体中古设备应用提供技术参考。
该系统搭载Micro-focus X-ray Source(微焦点X射线源),管电压可调范围20kV~160kV,管电流0.01mA~1.0mA;CMOS Detector(半导体探测器)基础空间分辨率达0.5μm,高端Diamond版本可达0.1μm,满足Micro-via(微孔)、Solder Void(焊球空洞)微米级检测要求。设备有效检测行程508mm×444mm,工件最大承重5kg,整机外形尺寸1450mm(W)×1700mm(D)×1970mm(H),适配中小尺寸晶圆(Wafer)与封装基板检测。
二手设备保养核心方法:定期校准X射线光轴(Ray Axis Calibration),每月清洁探测器防尘光路组件;每季度检测铅屏蔽舱密封性,防止X-ray泄漏;长期停机需对高压发生器(High Voltage Generator)进行防潮通电养护,规避高压模块老化失效。


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