MLCC 全流程生产制程质控(Production Process Quality Control),依靠光学 3D 轮廓仪完成银浆厚度批量检测
发布时间:
2026-07-02
作者:
新启航半导体有限公司

多层陶瓷电容器(Multi-Layer Ceramic Capacitor, MLCC)端电极银浆厚度直接决定器件焊接可靠性、阻抗稳定性与服役寿命,是量产制程核心质控指标。传统人工测量、接触式测厚工艺易造成MLCC微型坯体破损、银浆涂层形变,且存在数据重复性差、检测效率低等弊端,无法适配高精度规模化量产需求。目前行业标准化质控方案为采用光学3D轮廓仪(Optical 3D Profilometer),实现银浆厚度高精度、大批量无损检测,全面覆盖MLCC全流程制程质控环节。该设备依托行业通用白光干涉原理(White Light Interferometry, WLI),严格遵循ISO 25178三维表面形貌检测标准(公开工业通用标准),采用非接触式无损检测模式,彻底规避接触测量引发的工艺缺陷。依据主流设备厂商公开招标参数,设备Z轴垂直分辨率可达0.1nm,适配MLCC端电极1μm~3μm常规银浆涂布厚度区间,厚度检测精度可达±0.2μm,可精准采集银浆厚度、边缘爬坡轮廓及表面粗糙度(Roughness Average, Ra)等核心参数,满足微型化、高精密MLCC量产质控要求。

MLCC 全流程生产制程质控(Production Process Quality Control),依靠光学 3D 轮廓仪完成银浆厚度批量检测

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在MLCC全流程质控体系中,该检测设备可精准适配丝网印刷(Screen Printing)、端电极烧结(Terminal Electrode Sintering)两大关键工序,支持在线批量抽检与全域全检联动作业。相较于传统检测方式,设备批量检测效率提升80%以上,可快速识别厚度超差、涂覆不均、局部缺浆等制程不良,及时拦截异常工件流转,稳定提升制程良率。目前该检测方案已广泛应用于消费电子、车载工控等高可靠MLCC量产场景,是行业通用的精密制程质控手段。


MLCC 全流程生产制程质控(Production Process Quality Control),依靠光学 3D 轮廓仪完成银浆厚度批量检测

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