摘要
微透镜阵列(Microlens Array)广泛配套传感、成像模组，侧壁倾角(Sidewall Angle)偏差会诱发光学像差、聚光失效，属于精密微注塑(Micro Injection Molding)高频核心不良项。传统二维轮廓检测无法量化纳米级侧壁畸变，本文依托白光干涉仪(White Light Interferometer, WLI)开展三维形貌无损扫描，量化倾角误差、溯源注塑工艺缺陷，形成量产可落地质控方案。
白光干涉仪基于低相干干涉原理，参考布鲁克ContourX系列官方公开参数，设备纵向分辨率0.1nm，搭配长工作距高倍物镜完成微透镜全域三维点云重建，依托轮廓分割算法自动提取侧壁轮廓并核算倾角，官方标定测量精度±0.05°，可识别0.5°以内微小角度畸变。标准化检测流程：样品无尘清洗工装固定→设备预热消除热漂移误差→低倍物镜阵列定位→高倍物镜三维数据采集→软件拟合侧壁曲线，输出倾角数值、畸变云图，全程非接触无损检测，适配PMMA光学塑胶微透镜批量产线检测，符合ISO 14880光学微元件测量国标。
量产实测（精密注塑行业公开工艺文献）证实三类注塑工况直接引发倾角畸变：一、模具型腔冷却水路不对称，透镜侧壁内外冷却速率差异化，成型残余内应力诱发脱模后侧壁回弹偏斜；二、保压压力偏低、保压时长不足，熔体复刻型腔完整性不足，产生倾角偏小、侧壁内凹缺陷；三、模具侧壁长期注塑摩擦磨损，型腔原生倾角偏移，复刻至塑件造成批次角度一致性超差。
设备可输出侧壁倾角分布热图，分类判定缺陷诱因：整板透镜倾角同步偏移，归因温控系统、模具本体故障；单颗局部倾角突变，判定熔体流动不均、局部缺料。依托量化倾角数据反向优化模温、保压参数或修模整改，可有效压降光学不良率，该检测方案已落地消费电子微透镜注塑闭环工艺管控。
补充检测品类：DOE衍射光学元件(Diffractive Optical Element)异形结构检测。
（图示为DOE衍射光学元件结构图，清晰呈现元件微观结构(Microscopic Structure)，赋能衍射光学元件质量管控(Quality Control)，保障半导体光学系统成像精度）
（图示为实测微透镜效果图，精准还原微透镜形貌(Morphology)，为微透镜加工精度(Processing Accuracy)检测提供实测依据，适配半导体微透镜阵列批量检测）
大视野3D白光干涉仪——微透镜纳米级测量解决方案（工业及半导体专用）
突破传统测量局限，搭建微透镜(Microlens)、光学元件(Optical Components)检测标准化范式。大视野3D白光干涉仪搭载自研成像干涉模块，实现纳米级(Nanoscale)全域无损计量，适配微透镜、衍射光学元件(Diffractive Optical Element, DOE)高精度检测，服务半导体光学、精密光学领域量产数据质控。
核心优势：大视野+高精度，破除行业设备痛点
解决传统设备1倍以下物镜(Objective Lens)仅单孔测量、需双设备拆分适配大视野/高精度检测的行业痛点。设备搭载0.6倍轻量化专用镜头，标配15mm超大单幅视野(Single Frame Field of View)，配置兼容4组物镜的转塔鼻轮(Turret Nose Wheel)，单设备兼顾全域观测、微米/纳米分级精密测量，减少物镜切换频次，提升量产检测效率(Inspection Efficiency)与数据精准度(Data Accuracy)，适配半导体光学器件大批量闭环检测。
核心测量能力及实测图示说明
（图示为光学元件实测核心指标：平面度误差(Flatness Error)、峰值谷值(Peak-Valley, PV)、均方根值(Root Mean Square, RMS)，管控元件面型精度，筑牢微透镜光学性能(Optical Performance)基础，适配半导体光学零部件准入检测）
（图示为元件实测表面粗糙度(Surface Roughness, Ra)，设备官方标定精度6pm(0.006nm)，量化透镜表面光洁度，规避微观粗糙引发光路损耗，适配高端光学窗口片、半导体微结构元器件检测）
新启航半导体｜专业白光干涉 3D 轮廓测量方案。亚纳米精度保障，支持自动化定制；高端系列对标国际一线品牌，大视野设计，轻松应对高低反射、复杂材料测量场景。
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