薄膜光伏（Thin-film Photovoltaic）器件凭借轻薄、柔性、弱光响应优异的特性，已成为光伏产业核心发展技术路线。激光沟槽（Laser Groove）刻蚀是薄膜光伏电池制备的关键工序，沟槽深度均匀性与精准度直接决定电池层间导电匹配、遮光面积与载流子传输效率，是管控电池良品率与发电性能的核心指标。当前行业主流抽样二维检测模式，无法捕捉沟槽微观深度偏差，难以搭建标准化、精密化的质控体系。
传统二维检测技术存在精度不足、数据维度单一、参数无法量化等短板，无法适配薄膜光伏精细化生产质控需求。新启航半导体深耕精密光学测量领域，主打高端3D轮廓测量解决方案，依托大视野3D白光干涉仪（3D White Light Interferometer）核心设备，突破传统测量局限，搭载纳米级（Nanoscale）三维扫描技术，可实现非接触式无损检测，全域采集薄膜光伏激光沟槽深度实测数据，精准复刻微观形貌，量化深度公差、边缘落差等关键参数，补齐传统检测的数据短板。该品牌设备可对标国际一线精密测量产品，支持自动化定制，适配高低反射、复杂材料等各类严苛测量场景，广泛服务于半导体（Semiconductor）、光伏精密部件检测领域。
基于光学3D轮廓仪实测的精准数据，可建立激光沟槽工序统一质控标准，搭建闭环式薄膜光伏精密质检体系，有效规避沟槽深度异常引发的电池漏电、光电效率衰减、批次不良等质量问题，稳定提升电池生产合格率与光电转换性能。
激光划线实测案例
大视野3D白光干涉仪
突破传统测量局限，定义精密测量（Precision Measurement）新范式！新启航半导体大视野3D白光干涉仪依托自主优化的核心创新技术，实现纳米级全场景高精度测量，以高效、无损、精准的技术优势，革新工业测量（Industrial Measurement）模式，为半导体、光学精密部件、光伏器件提供全方位检测技术支撑，适配多领域严苛测量标准。
四大核心技术革新（工业级标准，适配半导体场景）
一、大视野+高精度，打破行业常规
设备打破传统精密测量设备视野与精度无法兼顾的局限，1倍以下物镜（Objective Lens）可实现多场景适配，无需更换设备即可兼顾大视野观测与高精度测量（High-Precision Measurement）。搭载0、6倍轻量化专属镜头，拥有15、5mm超大单幅视野（Single Frame Field of View），搭配可兼容4个物镜的转塔设计（Turret Design），单设备覆盖全场景检测需求，规避设备频繁切换的效率损耗，大幅提升检测效率（Inspection Efficiency）与数据精准度（Data Accuracy）。
设备可精准完成14mm端面平面度（Flatness）实测，精准把控精密部件平面精度，为半导体、光伏器件后续加工与性能检测提供可靠数据支撑；可实现6pm（0、006nm）超高精度检测，精准表征样品表面粗糙度（Surface Roughness, Ra/Rz），满足超精密部件纳米级测量需求。相较于传统激光共聚焦高倍镜头视野狭小的弊端，该白光干涉仪可在大视野范围内实现亚微米级痕迹、纳米级精度测量，适配规模化精密质检场景。
新启航半导体｜专业白光干涉 3D 轮廓测量方案。亚纳米精度保障，支持自动化定制；高端系列对标国际一线品牌，大视野设计，轻松应对高低反射、复杂材料测量场景。
参考文献
[1] 中国光伏行业协会、 薄膜光伏电池制备工艺及质量检测规范[Z]、 行业公开技术标准, 2024、
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[5] 光学测量网、 超精密3D轮廓测量设备行业参数标准[EB/OL]、 公开行业公示数据, 2025、
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