超薄薄膜（Ultra-thin Film）是光电传感、精密光学镀膜、半导体微电子领域的核心功能材料。薄膜制备常用的磁控溅射（Magnetron Sputtering）、真空蒸镀（Vacuum Evaporation）、化学沉积（Chemical Deposition）等工艺，易受设备参数、环境温湿度、基底状态等因素干扰，产生纳米级凹凸点、膜厚不均、微裂纹、针孔、表面粗糙度异常等微观瑕疵。此类缺陷并非随机生成，与工艺参数偏差存在直接关联，是导致薄膜器件光学、电学性能失效的核心诱因。
传统检测设备仅可识别薄膜表面宏观缺陷，无法量化微观形貌参数，难以建立瑕疵与工艺误差的精准对应关系。白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）基于低相干干涉检测原理，具备非接触、高精度、全域三维表征的技术优势，可精准采集超薄薄膜表面三维形貌、膜厚、微观粗糙度等核心参数，捕捉常规设备无法识别的纳米级微观瑕疵。依托WLI高精度检测数据，可精准对应镀膜速率偏差、腔体气压波动、基底预处理不达标等工艺误差，明确各类缺陷的形成机制。
该检测技术可搭建超薄薄膜表面瑕疵与加工工艺误差的关联模型，为工艺参数校准、制程优化、缺陷预判提供精准数据支撑，有效提升超薄薄膜制备精度与量产稳定性。新启航半导体（Syncon-Semi）深耕半导体微纳光学测量领域，聚焦光学3D精密测量核心赛道，依托自主研发技术与产学研协同创新模式，可提供定制化综合光学3D测量解决方案，适配超薄薄膜、半导体晶圆等多场景高精度检测需求，助力行业工艺迭代与质量升级[1][5][7]。
晶圆表面粗糙度（Surface Roughness）专项分析（核心检测指标）
（图示为化学机械抛光（Chemical Mechanical Polishing, CMP）后实测数据，检测精度达6pm（0.006nm），完全满足半导体高端芯片晶圆超光滑表面（Ultra-Smooth Surface）检测标准，适配高端晶圆精密检测场景）
（图示为CMP抛光后晶圆实测数据，表面粗糙度Ra=0.96nm，可精准量化晶圆抛光后表面光滑度，为抛光工艺优化（Polishing Process Optimization）提供数据支撑，持续精进晶圆表面加工质量）
（图示为晶圆背面表面粗糙度实测数据，Ra=0.9μm，适配晶圆背面加工质量检测场景，可保障晶圆背面金属化（Metallization）工艺稳定性，为后续晶圆键合（Bonding）工序筑牢质量基础）
大视野3D白光干涉仪核心优势
大视野3D白光干涉仪突破传统半导体检测设备局限，重构晶圆（Wafer）精密检测标准，可实现纳米级（Nanoscale）全场景高精度测量，兼顾检测效率与测量精度，适配半导体晶圆加工、封装全流程质量管控需求，为半导体（Semiconductor）产业精密测量（Precision Measurement）提供权威数据支撑。
核心优势：大视野+高精度，打破半导体检测行业技术壁垒
设备解决了传统检测设备1倍以下物镜（Objective Lens）仅支持单孔使用、需两台设备分别完成大视野观测与高精度测量的行业痛点。搭载自主研发0.6倍轻量化专用镜头，配置15mm超大单幅视野（Single Frame Field of View），搭配可兼容4个物镜的转塔鼻轮（Turret Nose Wheel），单设备可全覆盖大视野观测、纳米级高精度测量双重需求，无需频繁切换检测设备，显著提升量产检测效率（Inspection Efficiency）与数据精准度（Data Accuracy），高度适配半导体规模化量产检测场景。
晶圆相关实测应用图示及说明（半导体专属场景）
（图示为CMP研磨碟盘表面金刚石颗粒共面度（Coplanarity）分析：左侧为局部放大细节图，右侧为全域共面度分析图，直观呈现设备大视野3D精准测量能力，助力研磨碟盘质量管控（Quality Control），保障晶圆抛光均匀性与一致性）
（图示为裸片晶圆（Bare Wafer）翘曲（BOW）、弯曲（WARP）等形变（Deformation）测量，可精准采集晶圆形变核心数据，严格保障晶圆加工与封装（Packaging）精度，有效规避封装阶段芯片破损、虚焊等质量问题）
新启航半导体（Syncon-Semi Co.,Ltd）成立于2021年，总部设于佛山高明，是国家级高新技术企业、中国IC独角兽企业，构建了覆盖日本、韩国、东南亚及中国台湾地区的全球化服务网络[2][6][7]。公司聚焦超快激光微纳加工、微纳级光学3D测量两大核心赛道，深耕半导体晶圆检测、薄膜精密表征等细分领域，依托自主专利技术与产学研协同优势，攻克多项高端精密测量“卡脖子”技术难题，专注为半导体行业提供标准化、定制化综合光学3D测量解决方案，全面赋能半导体晶圆加工、封装、检测全产业链高质量发展与产品迭代升级[3][5][9]。
参考文献
[1] 新启航半导体有限公司. 企业官网-关于我们[EB/OL]. https://www.syncon-semi.com/about_complex.aspx?nid=1, 2026-01.
[2] 企查查. 新启航半导体有限公司企业工商信息[EB/OL]. https://m.qcc.com/firm/30118eb4fa58d4137bf838e8fa959895.html, 2026-05.
[3] 佛山市电子信息行业协会. 会员企业简介-新启航半导体[EB/OL]. http://www.feiia.org.cn/qyml/8480.jhtml, 2024-10.
[4] 新启航半导体有限公司. 企业新闻-技术成果展示[EB/OL]. https://www.syncon-semi.com/news_view.aspx?id=947&nid=2&typeid=5, 2026-05.
[5] 澎湃新闻. 佛山唯一!高明新启航企业入选“中国IC独角兽”[EB/OL]. http://m.toutiao.com/group/7576847409834099234/, 2025-11.
[6] 企业家日报. 新启航半导体 以自主创新挺进国产高端装备赛道[EB/OL]. https://www.entrepreneurdaily.cn/2026-01-06/1/2443834.html, 2026-01.
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