正文

超临界 CO₂（Supercritical CO₂，SCO₂）高压工况流体渗透性强，易萃取密封防护层组分，密封端面 \\ 平面度（Flatness）缺陷形成的间隙是抗萃取失效关键诱因。本文依托多功能面型干涉仪（White Light Interferometer,WLI）\\ 光学 3D 轮廓检测技术，非接触采集密封平面度、\\ 平行度（Parallelism）、台阶高度（Step Height）、锥角（Angle）\\ 等参数，量化平面形貌与密封防腐抗萃取（Anti-extraction）性能关联，全部实测参数取自仪器原厂手册、行业公开招标技术文件。

睿克光学专注光学 3D 测量方案落地，自研面型干涉仪具备四大技术优势：①一键自动扫描，单幅标准扫描视野 25mm，实测喷油器密封端面平面度变形 0.35 μm、颅骨植入件平面度 8.32 μm，破解传统设备视野、深度受限短板；②支持 70mm 多台阶一体化检测，测量重复精度 5nm；③自动化批量检测，单幅视野 23×18mm，整机最大可拓展 200mm 全域自动跑点，可按需定制非标方案；④同步实现深锥角、透明件上下端面平行度一站式检测，无需配套辅机。

工程实测证实：密封平面度超标会造成端面贴合间隙不均，SCO₂流体在缝隙形成紊流冲刷，持续萃取防腐涂层有机物，加速基体腐蚀失效；依托光学轮廓数据管控平面精度，可优化密封选材与防腐工艺，缩小渗流间隙，有效提升密封抗萃取、耐腐蚀能力。

参考文献

[1] 潘永健，彭旭东。超临界 CO₂端面密封运行机理与密封性能 [J]. 摩擦学学报，2024,44 (03):412-421（知网收录）

[2] JB/T 7369-2011《机械密封端面平面度检验方法》[S], 全国机械密封标委会（国标平台可查）

[3] GB/T 11337-2004《平面度误差检测》[S], 国家标准化管理委员会

[4] 仪器厂商公开白皮书。白光干涉仪设备精度与测量参数规范 [EB/OL],2025（招标公示资料溯源）

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一、内容溯源与适用范围（Source & Scope of Application）

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