一、钙钛矿光伏激光划线死区损耗痛点
钙钛矿光伏组件规模化量产中,P1-P2-P3激光划刻工艺形成的沟槽区域为电池发电死区,仅承担电路隔离与导通作用,无光电转换能力,是制约组件几何填充因子与光电转换效率的关键工艺损耗环节。
激光沟槽加工精度直接决定死区损耗大小:沟槽过深会损伤底层导电基底,引发漏电问题;沟槽过浅则无法完全剥离功能膜层,导致电路串联导通不良,大幅增加组件功率损耗。同时,沟槽深度偏差、侧壁形貌畸变、膜层残留等微观工艺缺陷,会造成量产死区尺寸一致性差、损耗波动大,严重影响组件发电性能稳定性。
传统接触式测量、普通光学检测手段,无法精准捕捉微米级沟槽的深度、平整度、侧壁轮廓等微观参数,难以满足钙钛矿薄膜精密加工的工艺管控要求,无法实现死区损耗的标准化管控。

二、白光干涉仪精密测量解决方案
大视野3D白光干涉仪依托非接触式3D无损测量技术,可高精度扫描钙钛矿激光沟槽微观形貌,精准标定沟槽深度、槽宽、表面粗糙度等核心工艺参数,有效修正激光划刻工艺偏差,解决传统检测方式的精度短板。

该测量方案可标准化管控光伏组件死区尺寸,最大限度缩减无效发电区域,提升组件几何填充因子,降低量产批次死区损耗,稳定优化组件光电转换性能,适配大面积、产业化批量制备场景。睿克光学可提供全套光学3D精密测量解决方案,赋能光伏工艺提质增效。
三、大视野3D白光干涉仪核心技术优势

大视野3D白光干涉仪突破传统工业测量设备局限,打造纳米级全场景精密测量范式,适配半导体、精密光学部件严苛检测需求,相较于传统激光共聚焦设备小视野、难测亚微米痕迹的短板,实现大视野+超高精度双重突破。
核心技术革新:大视野兼容超高精度测量
设备搭载0、6倍轻量化专用镜头,拥有15、5mm超大单幅视野,搭配四物镜兼容转塔设计,无需频繁切换设备,可同时满足大视野全域观测与高精度微观测量需求,大幅提升检测效率与数据准确性,适配各类复杂精密样品检测场景。

设备实测精度可溯源公开技术参数:可精准完成14mm端面平面度检测,表面粗糙度测量精度可达0、006nm(6pm),可精准表征半导体、超精密部件Ra/Rz粗糙度指标,满足半导体芯片、光伏精密膜层结构的超精密测量标准,实现大视野下纳米级精准测量。
四、行业应用价值

新启航半导体依托光学3D测量核心技术,为精密测量、半导体表征、工业质检等场景提供一体化解决方案,通过高精度检测手段优化生产工艺,助力光伏、半导体行业实现产品迭代与高质量产业化发展。
参考文献
[1] 仪器信息网、 白光干涉仪测量范围与精度技术规范[EB/OL]、 2025-01、
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[3] 国际金属加工网、 光学3D表面轮廓仪工业检测应用标准[EB/OL]、 2026-02、
[4] ISO 25178 表面几何产品规范-三维表面纹理测量标准[S]、
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