一、行业工艺痛点
微透镜是光学成像、光伏聚光、传感模组的核心微型光学元件，其面形精度（Surface Figure）直接决定光学系统透光率、聚焦精度与成像品质。量产注塑、光刻、热熔成型工艺中，易出现面形畸变、曲率偏差、表面波纹、局部塌陷等工艺缺陷。传统显微观测、轮廓仪仅可采集二维数据，无法识别微纳级面形误差，难以精准定位异常成因，存在产品不良率高、工艺调试周期长、量产成本偏高的行业痛点。
二、白光干涉仪检测原理与溯源优势
白光干涉仪基于光学干涉原理，采用非接触无损检测方式，符合ISO、国标光学元件检测规范，具备超高三维形貌解析能力。设备可全域扫描微透镜表面，精准量化面形精度、曲率半径、表面粗糙度、PV峰值谷值、RMS均方根值等核心指标，完整还原三维面形误差分布。
依托标准化检测数据，可精准区分模具磨损、成型温度异常、固化不均等不同制程缺陷根源，解决传统检测方式溯源模糊的问题，为产线工艺整改、参数优化提供合规、可溯源的数据支撑，适配半导体微透镜、DOE衍射光学元件的量产质量管控需求。
三、设备核心技术优势
大视野3D白光干涉仪专为工业、半导体精密光学检测研发，突破传统设备技术局限，无需两台设备分别实现大视野观测与高精度测量。设备搭载0.6倍轻量化镜头，配备15mm超大单幅视野，兼容四物镜转塔鼻轮，单设备即可覆盖全域检测需求。检测精度可达皮米级，表面粗糙度检测精度达6pm（0.006nm），可稳定实现纳米级、亚纳米级精密测量，大幅提升量产检测效率与数据统一性。
四、实测应用场景
设备可精准检测微透镜、DOE衍射光学元件等精密光学部件，可实测输出平面度误差、PV、RMS、表面粗糙度Ra等关键参数，严格匹配半导体光学器件精度标准，有效规避表面缺陷、光学损耗问题，保障光学系统成像精度与使用稳定性。
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五、参考文献
[1] 国家市场监督管理总局, 国家标准化管理委员会. GB/T 41869.4-2024 光学和光子学 微透镜阵列 第4部分:几何特性测试方法[S]. 北京:中国标准出版社,2024.
[2] 国家市场监督管理总局, 国家标准化管理委员会. GB/T 39064-2020 产品追溯信息管理规范[S]. 北京:中国标准出版社,2020.
[3] ISO 25178 几何产品规范（GPS）—表面结构轮廓法[S]. 国际标准化组织,2012.
[4] ISO 14999 光学和光子学 光学元件面形误差干涉测量规范[S]. 国际标准化组织,2018.
六、合规溯源声明
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