引言

超临界CO₂设备作为能源、化工领域的核心装备，其密封性能直接决定设备运行安全性与稳定性。密封端面的平面度是影响密封效果的关键指标，超临界工况下的高温、高压及介质腐蚀性，易导致密封端面出现平面度偏差，引发泄漏隐患。传统测量技术精度有限，难以满足密封端面精密检测需求，白光干涉测量凭借非接触、高精度的优势，成为超临界CO₂设备密封平面度检测的优选技术，具有重要工程应用价值。

白光干涉测量技术原理

本次检测采用的白光干涉测量技术基于迈克尔逊干涉原理，以宽光谱白光为测量光源。光束经分光镜分为测量光与参考光，测量光投射至超临界CO₂设备密封端面，反射光与参考光汇聚形成干涉条纹。通过采集干涉信号，可重构密封端面三维形貌，精准捕捉微观平面度缺陷，垂直分辨率达亚纳米级，且非接触测量方式可避免损伤精密密封端面，适配密封件检测需求。

测量实验与应用实践

实验选取超临界CO₂设备常用硬质合金密封端面为检测对象，严格遵循相关行业检测标准开展实验。实验前对密封端面进行清洁处理，去除介质残留与氧化层，调节测量系统参数确保检测精度。测量结果显示，该技术测量误差控制在3nm以内，可清晰识别密封端面微小平面度偏差，为密封件质量管控、故障排查提供精准量化数据，有效适配超临界工况的严苛检测要求。

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多功能面型干涉仪——大视野平面度/纳米精密测量设备

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四大核心技术革新，突破行业测量瓶颈

一键自动扫描：彻底破解传统光学测量在高精度工况下“深度受限、视野偏小”的行业痛点，全面兼容平面度、台阶高度、多面平行度、锥孔等多维度精密测量需求，适配喷油嘴核心部位检测。

（实测喷油器密封端面 平面度变形 0.35um）

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上下平面平行度专属检测：采用独特光路设计，可实现非/透明产品的厚度与上下平面平行度同步测量，无需额外设备，简化检测流程，提升检测效率。

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